静电吸盘是微纳制造领域的“隐形抓手”，它依托静电吸附原理工作，无需传统夹具的物理夹持结构，能精准、无损地固定晶圆、薄膜等微纳尺度工件，在光刻、刻蚀等对定位精度要求极高的工序中，它可避免物理夹持对工件造成的损伤或污染，适配微纳制造的严苛工况，是保障微纳加工精度与良率的关键配套部件。